特气气体管路输送系统
公司向所有电子半导体行业提供优质的工艺管道气体输送系统方案，是指半导体、TFT-LCD、LED、太阳能、光纤、制药、电子、工业、实验室等行业大宗气体系统从厂务端的供应设备至生产厂房的管道连接、二次配工程，气体通过BSGS、气瓶柜等供应设备和连接管道，将特殊气体按照工艺要求的参数安全、持续的输送至生产机台，并且可以保证不间断供应和全自动供应，以实现持续生产和客户利益＊大化。
流程图图例：
HOOKUP工程：
特气气体输送设备（BSGS）
用于半导体与LCD微电子等行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。
高纯气体供应设备系统包括：特气柜（GasCabinet）、气瓶柜（BSGS）、气瓶架(GR)、阀组箱（VMB）、阀门盘（VMP）等产品；
体输送系统设备
1、高纯度大规模气体输送系统。
2、不间断供气同时保证系统内气体纯度。
3、为客户降低气体输送系统的成本。
4、采用与气瓶柜相似的技术规格。
5、磅秤和加热系统为可选项，可根据客户要求进行配置。
设备—气瓶柜(GC)及气瓶架(GR)
1、安全设计（柜壳）
2、316LVIM/VAR材料
3、根据气体性质应用材料
4、100%内表面抛光
5、无颗粒
6、PLC控制与触摸屏操作
7、简便的操作和维护
8、全自动循环进程
9、全自动钢瓶切换进程
10、安全选型与阀门互锁功能
设备—气体分流设备VMB/VMP/VDB/VDP
1、增大生产能力
2、减少气瓶柜数量以降低成本
3、简易化设计
4、全自动、半自动及手动控制
5、1X4、1X6、1X8输出用点
6、吹扫、真空（可选）
