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   化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。     现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,新濠天地过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题化学气相沉积(CVD)1.原理:化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition 简称CVD) 是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程。2.过程:化学气相沉积过程分为三个重要阶段:反应气体向基体表面扩散、反应气体吸附于基体表面、在基体表面上发生化学反应形成固态沉积物及产生的气相副产物脱离基体表面。*常见的化学气相沉积反应有:热分解反应、化学合成反应和化学传输反应等。3.化学气相沉积法之所以得到发展,是和它本身的特点分不开的,其特点如下:(1)沉积物种类多: 可以沉积金属薄膜、非金属薄膜,也可以按要求制备多组分合金的薄膜,以及陶瓷或化合物层。(2) CVD反应在常压或低真空进行,镀膜的绕射性好,对于形状复杂的表面或工件的深孔、细孔都能均匀镀覆。(3)能得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜镀层。(4)由于薄膜生长的温度比膜材料的熔点低得多,由此可以得到纯度高、结晶完全的膜层,这是有些半导体膜层所必须的。(5)利用调节沉积的参数,可以有效地控制覆层的化学成分、形貌、晶体结构和晶粒度等。(6) 设备简单、操作维修方便。(7) 反应温度太高,一般要850-1100℃下进行,许多基体材料都耐受不住CVD的高温。采用等离子或激光辅助技术可以降低沉积温度。 CVD设备种类及其特点和应用领域      化学气相沉积的方法很多,如常压化学气相沉积(Atmospheric pressure CVD,APCVD)、低压化学气相沉积(Low pressure CVD,LPCVD)、超高真空化学气相沉积(Ultrahigh vacuum CVD,UHVCVD)、激光诱导化学气相沉积(Laser CVD,LCVD)、金属有机物化学气相沉积(Metal-organic CVD,MOCVD),等离子体化学气相沉积(Plasma enhanced CVD,PECVD)等。    根据CVD的加热方式,可以将CVD分为热壁和冷壁两种。市面上常见的化学气相沉积系统通常是热壁CVD,直接依靠炉体的升温对生长区进行加热。热壁CVD工艺相对更加成熟,制备成本较低,且在材料生长中表现出良好的可靠性,因此收到众多实验室的青睐。冷壁 CVD 系统通过恒流源直接对导电衬底供电加热,腔壁和样品无直接接触,仅由于热辐射传导而略微升温,因此称为“冷壁”。它的优点是其降温速度可以通过所加的恒流源控制,能够在较大的范围内控制降温速率。我公司在行业内拥有众多的设计与施工经验,具有GC2管道施工资质,配套国内多家高校与科研单位合作,根据不同类型的设备提供不同的高纯供气管道设计与施工方案,下图与实际案例微波等离子体设备气路、MPCVD钻石生长设备供气气路、CVD培育钻石设备供气、CVD设备气路管道安装、CVD设备气路阀板、CVD设备供气装置等

 

特气气体管路输送系统公司向所有电子半导体行业提供优质的工艺管道气体输送系统方案,是指半导体、TFT-LCD、LED、太阳能、光纤、制药、电子、工业、实验室等行业大宗气体系统从厂务端的供应设备至生产厂房的管道连接、二次配工程,气体通过BSGS、气瓶柜等供应设备和连接管道,将特殊气体按照工艺要求的参数安全、持续的输送至生产机台,并且可以保证不间断供应和全自动供应,以实现持续生产和客户利益*大化。流程图图例: HOOKUP工程:特气气体输送设备(BSGS)用于半导体与LCD微电子等行业特殊气体输送系统,多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。高纯气体供应设备系统包括:特气柜(GasCabinet)、气瓶柜(BSGS)、气瓶架(GR)、阀组箱(VMB)、阀门盘(VMP)等产品;体输送系统设备         1、高纯度大规模气体输送系统。 2、不间断供气同时保证系统内气体纯度。 3、为客户降低气体输送系统的成本。 4、采用与气瓶柜相似的技术规格。 5、磅秤和加热系统为可选项,可根据客户要求进行配置。      设备—气瓶柜(GC)及气瓶架(GR)          1、安全设计(柜壳)          2、316LVIM/VAR材料          3、根据气体性质应用材料          4、100%内表面抛光          5、无颗粒          6、PLC控制与触摸屏操作          7、简便的操作和维护          8、全自动循环进程          9、全自动钢瓶切换进程          10、安全选型与阀门互锁功能  设备—气体分流设备VMB/VMP/VDB/VDP  1、增大生产能力  2、减少气瓶柜数量以降低成本  3、简易化设计  4、全自动、半自动及手动控制  5、1X4、1X6、1X8输出用点  6、吹扫、真空(可选)  

 

       公司从事各类燃料气体设备(包括氢能发电机、氢能发电器、通信电源等设备)的氢能源储气系统、高压氢气管道安装工程、氢燃料电池电堆供气管道安装、氢燃料电池电堆供气气路安装、供氢阀门管道安装、氮气、氩气、氦气、氧气、甲烷、煤气、天然气、压缩空气、废气、尾气、氢气管路管道气路安装组装、氢废气排放排空管道安装、新能源气路气体管道、氢能源管道安装、氢能源阀组集成、高压氢气阀组、加氢站供气系统阀门、氢能源供气系统、新能源汽车零部件测试平台、车载储/供天然气(氢气)系统、氢能源汇流排供气系统、模块化高压储气供气系统、氢气站高压阀组组装、供氢站汇流排、供氢站阀组、氢气鱼雷车减压装置、鱼雷车汇流排、鱼雷车集中供气系统、鱼雷车撬装设备、高压氢气撬装设备、氢气撬装汇流装置、鱼雷车阀组等技术的开发、集成、现场施工安装与调试,氢气减压装置安全操作规程及应急措施一、氢气减压装置使用前的检查:1、检查连接部位是否漏气(用氮气),可涂上肥皂液进行检查,确认不漏气后方可使用。2、检查氢气鱼雷车和减压装置是否接地,并定期检查系统接地电阻。二、 减压装置使用前的置换:1、氢气减压装置在首次使用前要进行吹扫,再用氮气进行置换。2、置换操作:① 缓慢打开氮气钢瓶阀及减压装置的氮气进口阀,向系统充入氮气进行置换。② 待系统中有一定的压力时,打开减压装置的放空阀。③ 在放空口进行取样分析,当氮气中的含氧量≤0.4%时,置换合格,然后关闭放空阀及氮气进口阀。二、氢气减压装置使用步骤:1、缓慢打开氢气鱼雷车上的氢气总阀;确认氢气鱼雷车和减压装置之间的连接管道无泄漏。2、缓慢打开氢气减压装置上进氢总阀;3、缓慢打开氢气减压装置上的放空阀,继续用氢气置换合格后关闭放空阀;4、依次缓慢打开减压装置减压阀的进口阀,同时观察压力表上的氢气压力,调节减压阀(减压阀减压后设定压力一旦确定后,不需要重新设定),将减压后压力控制在1.8~1.9Mpa(观察压力表压力),打开减压阀后出口阀。5、打开减压装置上去氢气缓冲罐总阀,并记录减压装置上氢气压力表上的压力数值。三、停止使用氢气减压装置操作步骤:1、关闭氢气鱼雷车上的氢气总阀;2、关闭氢气减压装置上进氢总阀;3、依次关闭减压装置上减压阀进口及出口阀;4、关闭减压装置去氢气缓冲罐总阀;5、卸下连接氢气鱼雷车的氢气软管及静电接地线。四、操作注意事项:1、操作人员应经岗位培训,考试合格持证上岗;上岗时应穿防静电工作服,严禁携带火种、非防爆电子设备进入减压装置附近。2、打开氢气鱼雷车阀门时一定要轻缓操作,因为氢气鱼雷车内的氢气压力比较高,若开启过大会造成流速过快,产生静电。另外压力瞬间过高对管道及接头造成损坏,产生泄漏。3、操作工操作时严禁对管道及阀门敲打,减压装置在夏季应防晒。4、氢气减压装置附近不得有明火,如附近需动火作业,必须办理动火作业证,而且明火或电气设备与减压装置的间距不应小于10米。5、严禁将氢气鱼雷车内气体用尽,应保留2~3MPa以上的余压。6、在连接、吹扫、放空时,不能将氢气同氧化性物质接触。7、减压装置在使用中操作工应加强巡回检查,检查各阀门是否处于正常状态,压力表指示值是否正常,反应是否灵敏,装置、管道、阀门、法兰及各连接处有无泄漏,接地是否完好,要确保系统的正常运行。五、应急措施1、如果氢气发生微量泄漏,且可以关闭氢气源 ① 警告在减压装置附近的工作人员; ② 通过泄漏声找到泄漏位置; ③ 缓慢关闭氢气源(千万不能形成负压)。2、如果氢气泄漏,且不可关闭氢气源 ① 如果氢气泄漏未着火,停留在危险区外,并设立安全区; ② 设置断路标志及警戒带,或派人断绝加氢一期大门,严禁车辆(包括消防、救护及指挥车辆)及无关人员进入泄漏区; ③ 在事故现场严禁使用各种非防爆的对讲机、移动电话等通讯工具。抢险救灾所使用的工具必须是不产生火花的铜制工具; ④ 如果氢气泄漏已着火,不要试图扑灭火焰,要加强冷却正在燃烧的和与其相邻的贮罐及有关管道(喷淋保护),将火控制在一定范围内,让其稳定燃烧,然后缓慢关闭氢气阀,让其燃烧逐渐减小(适当时可用湿棉被或灭火毯覆盖),切忌开关阀门过快,引起回火,发生爆炸; ⑤ 在事故发生的同时操作工应立即向车间、公司领导汇报、联系消防部门。

 

   新濠天地的焊接团队擅长于生产标准及复杂的工艺管道和相配套的组件,从简单的对接焊接到具有挑战性特种材料,大角度异形焊接,新濠天地具备各方面的专业知识和制造经验以克服焊 接位置的材料变形,以帮助客户实现他们的设计和产品要求。焊接技术新濠天地在轨道焊接领域拥有超过10年的经验,新濠天地使用内部开发的内部焊接技术,为创新制造理念打开大门。  设计  抽查  下料  制作前准备  焊接  抛光  检测  清洗包装

 

大宗气体系统工程: 半导体、TFT-LCD、LED、太阳能、光纤、生物制药、电子等行业使用量较大,需要集中供应的惰性气体,一般有CDA/IA(CleanDryAir/InstumentAir)、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe七种。 •大宗气体输配系统是指将大宗气体从气站通过供应管道输送至生产厂房,再由生产厂房中预留的阀门通过二次配管连接至生产机台。管道上可以安装阀门、调压装置、过滤装置等,以满足生产工艺对大宗气体压力、流量和纯度的要求。•CDA:主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge),LocalScrubber助燃。•IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。•N2:主要供给部分气动设备气源或供给给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力来源。•O2:供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用,供给O3Generator所需之氧气供应及其它制程所需•Ar:供给Sputter制程,离子溅镀热传导介质,Chamber稀释及惰性气体环境。•H2:供给炉管设备燃烧造成湿氧环境,POLY制程中做H2BAKE之用,W-PLUG制程中作为WF6之还原气体及其它制程所需。•He:供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。

 

 在现代化实验室中,为了完成实验,需要用到多种分析仪器,如气相色谱仪、原子吸收、气-质联用仪、ICP等等,其中这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶供气模式,且钢瓶直接放在仪器设备旁边,无形中增加了安全方面的隐患,但是随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统供气模式已经难以满足需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难,为了解决以上两个方面的问题,就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气,这就是实验室高纯气体管道集中供气系统的功能所在。气体安全问题实验室目前存在的安全隐患有哪些?* 非易燃无毒气体(含窒息性气体和氧化性气体和其他未包含的气体)* 毒性气体(含腐蚀性气体)* 易燃气体(含易爆气体),有毒、易燃易爆气体的特性:分子量小,扩散快,一旦泄漏造成的危害是*为严重的! 向来,实验室是一个危险的地方,也许就是一个炸药库,也许是一个生化武器库,也许是毒药间,也许是高压电,有时也象高压锅。爆炸案、火灾案、中毒案在这里频频发生。稍有偶然的不慎和疏忽,会造成生命财产的重大损失。   根据统计的100起事故是2001-2016年全国高等院校、科研院所以及包含有物质提取、提纯、分离、化学反应过程的企业实验室发生的典型事故,其中高等院校71起、科研院所11起、企业实验室18起,100起实验室事故造成8人死亡,593人受伤和中毒(包括28个病菌感染者)。                 中国矿业大学实验室爆炸致1死4伤  2015年4月5日中午,位于徐州的中国矿业大学化工学院一实验室发生爆炸事故,致5人受伤,1人抢救无效死亡。安徽一中学实验室爆炸3名教师受伤  2015年4月29日上午,安徽省淮北矿务局朱仙庄矿中学的实验室突然发生爆炸,事故造成3名教师受伤。清华实验室爆炸一博士后身亡  2015年12月18日10点,清华大学化学系实验室发生一起爆炸事故,一名博士研究生在实验室内使用氢气做化学实验时发生爆炸,后被确认身亡据安监部门通报,爆炸是在使用氢气做化学实验时发生的。江苏苏州大学实验室发生爆炸  2015年6月17日下午16:30分左右,苏州大学物理楼二楼实验室在处理锂块时发生爆炸,苏州消防调集7辆消防车参与救援,无人员受伤。北京化工大学实验室着火  2016年1月10日中午北京化工大学科技大厦一间实验室内又突然着起了火,幸运的是现场无人员伤亡。上海东华大学生物实验室发生爆炸  2016年9月21日,位于松江大学园区的东华大学化学化工与生物工程学院一实验室发生爆炸,两名学生受重伤,一名学生受轻微擦伤,暂无教师受伤。集中供气系统优点:1、实验室供气管道采用BA级无缝钢管可保持气体的纯度    专用气瓶均配有冲洗阀,以排除每次更换气瓶时引入的杂质,确保了管路终端气体的纯度。2、不间断气体供应    气路控制系统可以手动或自动方式在气瓶之间进行切换,以保证气体的连续供给。3、实验室供气管道的压力、泄露警示与紧急切断    当气压低于警报限时,报警装置可自动启动报警以便及时更换气瓶,当浓度探测器探测到危险性气体泄漏时会将信号传送至报警器同时启动紧急切断与排风扇联动。4、气体压力稳定     系统采用两级减压(一级由供气控制系统调节,二级由使用点的控制阀调节)方式供气,可得到非常稳定的压力。5、实验室供气管道工程的高效率    通过供气控制系统,可充分使用钢瓶中的气体,减少残气余量,降低用气成本。6、操作简便    所有气瓶均集中在同一位置,减少了搬运安装等操作,更节约时间及成本费用。7、减少气瓶的租金    采用中央供气系统,可减少对气瓶数量的要求,从而节省气瓶的租用和购买成本。8、减少分子筛损耗    控制气体纯度可有效地减少数派对分子筛的使用量(节约成本)。9、无气瓶在实验室中采用集中供气系统意味着实验室中没有气瓶装备,有如下好处:  *  提高安全性。气瓶可能倒地而导致损坏或伤害。  *  提高安全感。气瓶可能导致气体泄漏、火灾等危险情况。  *  节省空间。从实验室移走气瓶可空出更多的实验空间。集中供气管道设计依据与技术规范:《工业金属管道工程施工及验收规范》GB50235-2010《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB50236-2011《科学实验室建筑设计规范》JGJ91-93《建筑设计防火规范》GB50016-2006《化工工业金属管道工程施工及验收规范》GB50235-97《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2008《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》GB50493-2009《输气管道工程设计规范》GB50251-2003《压缩空气站设计规范》GB50029-2003《氢气站设计规范》GB50177-2005《工业金属管道设计规范》GB50316-2000《氧气站设计规范》GB50030-91《乙炔站设计规范》GB50031-91

 

公司依托经验丰富的设计工程师和强大的各类专业设计软件,能够协助客户解决各类流体设计问题,并根据客户所需定制化设计各类电气相包括手动、联动、自动化等流体控制系统。                      

 

涉及到高洁净卫生级的管道系统:•注射用水(WFI,WaterForInjection)•洁净蒸汽(CS,CleanSteam)•在线清洗(CIPS/CIPR,Clean-In-PlaceSupply/Return)•工艺料液(PF,ProcessFluid)•通常尺寸从1/2"到4",采取轨道自动焊(OrbitalWelding)手工焊接和卫生级卡口(HygienicClamp)方式连接。 生物制药管道区别于石化项目的重要特点:•1.设计细节要求:洁净、灭菌、自排净、可追溯性等•2.安装要求:轨道自动焊接、内窥镜检查、严格控制坡度、安装过程中严格质量控制等•3.材料要求:316L为主,对接触产品的材料内表面处理严格要求,分机械抛光和电解抛光,卫生级卡口连接等。要求更高的,亦可作钛管的设计安装。•4.验证要求:DQ,IQ,OQ,PQ,工程批,验证批•5.GMP认证、EU认证、FDA认证相关  

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